產(chǎn)品型號：HTBX-II-FS300300-BJ　　

　　出光面積：300mm * 300mm　　

　　晶圓解膠機(jī)波長：365/385/395/405（多波段可選）　　

　　燈珠品牌：韓國首爾　

　　燈珠壽命：≥20000　　

　　其它功能：晶圓解膠機(jī)支持充氮?dú)夤δ堋?/span>

　　一、設(shè)備特征　　

　　1、設(shè)備具有氮?dú)饽Ｊ胶头堑Ｊ焦袒δ埽堑獨(dú)饽Ｊ剑嚎蛇x自動或手動模式，晶圓解膠機(jī)自動模式下，由門禁感應(yīng)控制 UVLED 開關(guān)；手動模式下，由觸摸屏控制UVLED開關(guān)。　　

　　2、氮?dú)饽Ｊ剑宏P(guān)門后點(diǎn)擊啟動按鈕開始充氮?dú)猓?dāng)充氣時間及內(nèi)腔氣壓到達(dá)設(shè)定值， UVLED 開始照射并計時，照射時間到后，自動關(guān)閉UVLED并打開排氣閥，待排氣 完成后方可開啟安全門。　

　　3、設(shè)備支持充氮?dú)饨涌冢涞獨(dú)鈺r間及壓力可調(diào)，腔內(nèi)氣壓實(shí)時檢測及過壓保護(hù)。　

　　4、設(shè)備具備數(shù)字調(diào)光、生產(chǎn)計數(shù)、歷史數(shù)據(jù)查詢等功能。　

　　二、晶圓解膠機(jī)光源特征　

　　1、壽命長　

　　UVLED使用壽命長，減少設(shè)備的投入成本。即開即關(guān)，無需預(yù)熱，開關(guān)次數(shù)不影響使用 壽命。　

　　2、高效節(jié)能　

　　晶圓解膠機(jī)UVLED的輸出波段集中，光電轉(zhuǎn)化率高，節(jié)能省電，固化速度快，生產(chǎn)效率高。

　　3、綠色環(huán)保　

　　符合RoHS，不含汞。